JY-CS50 气体质量流量控制器 京仪

JY-CS50 气体质量流量控制器 京仪

规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM

调节阀类型：常闭型

量程比：2-FS或者50:1

分辨率：0.1%FS

准确度：1%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

线：0.5%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

重复精度：0.2%FS

相应时间：小于2S

工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM

0.1-0.3MPA 大于10SLM

大耐压：3MPA

工作环境：5-45度

电缆接头：DB15pin(形

输入信号：0-5V输入抗阻大于100K欧 电流不大于3MA

供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA

JY-CS50 气体质量流量控制器 京仪

规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM

调节阀类型：常闭型

量程比：2-FS或者50:1

分辨率：0.1%FS

准确度：1%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

线：0.5%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

重复精度：0.2%FS

相应时间：小于2S

工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM

0.1-0.3MPA 大于10SLM

大耐压：3MPA

工作环境：5-45度

电缆接头：DB15pin(形

输入信号：0-5V输入抗阻大于100K欧 电流不大于3MA

供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA